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    基于卷積分類網絡的晶圓圖失效模式相似檢索的方法

    918   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:33
    本發明公開了一種基于卷積分類網絡的晶圓圖失效模式相似檢索的方法，涉及半導體制造業技術領域。本發明針對晶圓失效模式的圖像特征，構建了一種兼顧語義特征及局部細節特征的卷積分類網絡，通過分類偽任務來提取圖像特征，由于圖像特征是高維的向量，采用傳統的相似度量方法并不能在大規模的數據集相似檢索中實用，為此，本發明對圖像的卷積特征做了進一步的二值量化編碼，采用局部敏感哈希算法，將高維向量壓縮為低維向量，相似樣本以較大概率分到同一分區桶中，減少檢索池數據規模，因而大幅度的降低了相似檢索的計算復雜度，相較于人工視檢的方式搜索晶圓相似的失效模式，本發明是一種高效準確的自動化相似檢索分析方法。
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    “基于卷積分類網絡的晶圓圖失效模式相似檢索的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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