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    基于納米壓入測試技術的超薄膜疲勞失效預測方法

    1120   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:33
    本發明公開了一種基于納米壓入測試技術的超薄膜疲勞失效預測方法，其具體步驟如下：利用磁控濺射技術制備組織均勻的薄膜；將薄膜放在納米壓痕儀上，設定合適測試參數，包括平均載荷大小，載荷幅值，以及加載頻率，進行測試；測試結果中，可以得到薄膜的存數剛度，隨時間的變化關系；分析實驗結果，找出數據中存數剛度變化的轉折點，此點所對應的時間為薄膜發生疲勞失效的時間。本發明利用DMA組件實現基于納米壓入測試技術的超薄膜疲勞失效預測方法，該方法操作簡單，結果準確有效，適應性強。
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