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    用于監測堆料機的操作失效的半導體制造自動化系統與方法

    824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    一種用于監測用在半導體制造自動系統中的堆料機的操作失效的方法,其中所述堆料機被分為若干操作部分。包括步驟:a)響應于從堆料機發出的堆料機狀態信號產生代表堆料機的操作狀態的堆料機狀態信息;b)檢查堆料機狀態信息以更新原來存儲的堆料機的操作狀態;c)在包含在堆料機中的至少一部分失效時產生警報信號;和d)響應于警報信號產生音頻可視警報信號。該方法在堆料機失效時可有效地提供音頻可視警報信號。
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