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    大規模集成互連電遷移失效測試方法

    1110   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明公開了一種大規模集成互連電遷移失效快速自動測試方法，主要解決現有技術的測試成本高、測試規模小的問題。其實現方案是：利用反熔絲在編程前后電阻發生巨大變化這一特性，在集成互連線的焊盤上通過平面集成工藝制作反熔絲，形成互連和反熔絲并聯的結構，將大量的該互連-反熔絲單元結構串聯起來即形成大規模集成互連多鏈接結構，在該多鏈接結構兩端分別連接測試電流源和電壓表進行電遷移失效測試，并記錄多鏈接結構兩端的電壓下降跳變點時間，作為互連的失效時間。本發明具有測試成本低、測試效率高的優點，可用于大規模集成互連電遷移失效的測試。
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    聲明：
    “大規模集成互連電遷移失效測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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