• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 失效分析技術

    > 集成電路的可靠性分析測試結構及其測試方法

    集成電路的可靠性分析測試結構及其測試方法

    1115   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明揭示了一種集成電路的可靠性分析測試結構,該測試結構包括:襯底,包含有源區和隔離區,具有一柵極、通孔和一互連線的n級待測結構,測試電壓端以及電介質,所述通孔位于所述隔離區上。本發明還揭示了該測試結構的測試方法,包括:根據所述的測試結構實際形成待測試結構;對所述待測結構施加電壓使所述待測結構失效,所述測試電壓端接入測試電壓,所述有源區和每一級的所述節點均接地,直到所述待測結構失效;測試所述待測結構的失效位置,所述測試電壓端接入工作電壓,分別使所述有源區和每一級的所述節點接地。本發明的測試結構能準確評估有源區上的通孔與相鄰柵極之間電介質的可靠性。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “集成電路的可靠性分析測試結構及其測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    失效分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>