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    納米級靜電保護器件失效微區的表征方法

    1134   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明公開了一種納米級靜電保護器件失效微區的表征方法，選取一個靜電失效的納米級靜電保護器件，該器件對比失效前，在工作電壓下測得漏電流發生突增，此為失效樣品；通過激光掃描該器件表面，利用光致電阻的變化，定位缺陷位置，得到失效熱點；根據失效熱點，原位切割器件，通過SEM窗口實時觀察并調整適合的束流大小，得到最有分析價值的失效TEM樣品；最后通過TEM完成對失效區域原子級的表征，綜合分析，找出失效機理。本發明對納米級靜電保護器件的內部失效微區精確定位并得到失效的高分辨圖像和元素的信息，可以對失效部位進行有效的失效分析，得到失效機理，最終達到改進器件性能的目的。
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    聲明：
    “納米級靜電保護器件失效微區的表征方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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