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    失效點的定位方法、裝置、計算機設備、介質和程序產品

    952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本申請涉及一種失效點的定位方法、裝置、計算機設備、存儲介質和計算機程序產品。所述方法包括：獲取通過紅外熱成像裝置對被施加測試信號的待測試芯片進行掃描，獲得的所述待測試芯片表面的熱成像圖片，并對所述熱成像圖片進行分析，獲得所述待測試芯片表面各點的相位角；獲取通過圖像掃描裝置對所述被施加測試信號的待測試芯片進行掃描，獲得的所述待測試芯片表面的三維圖像，并對所述三維圖像進行分析，獲得所述待測試芯片表面各點的三維坐標；根據所述待測試芯片表面各點的相位角和三維坐標計算所述待測試芯片中失效點的三維坐標。采用本方法能夠提高芯片內部失效點定位精度。
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    失效分析
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