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    電性失效圖形判別裝置及判別方法

    892   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:35
    本發明涉及集成電路領域，提供了一種電性失效圖形判別裝置及判別方法，用于對芯片上經過電性測試后的多個電性失效圖形進行判別并歸類，所述電性失效圖形判別裝置中，圖形提取模塊用于獲取其中兩個電性失效圖形，特征比較模塊用于比較所述兩個電性失效圖形是否具有包含與被包含的關系，若是，則屬于包含一方的其中一個電性失效圖形的歸類優先級高于屬于被包含一方的另一個電性失效圖形的歸類優先級，若否，則所述兩個電性失效圖形的歸類優先級相同。利用所述電性失效圖形判別裝置有助于避免由于圖形特征具有包含與被包含關系所導致的歸類錯誤的問題，提高良率分析的準確性。本發明另外提供了一種電性失效圖形判別方法。
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