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    基于失效物理的MOS器件可靠性仿真評價方法

    819   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:35
    本發明涉及一種基于失效物理的MOS器件可靠性仿真評價方法,包括以下步驟:步驟一:采集MOS器件相關參數;步驟二:進行失效模式、機理及影響分析;步驟三:建立CFD、FEA和故障預計模型;步驟四:開展溫度、振動、電特性仿真分析;步驟五:進行應力損傷分析;步驟六:進行累積損傷分析;步驟七:考慮偏差進行參數隨機化仿真;步驟八:利用競爭失效機制得到失效前時間向量:步驟九:評估器件的平均首發故障時間。本發明基于失效物理理論,從MOS器件可能失效的原因入手,通過分析獲得器件潛在失效機理和對應失效物理模型,進行仿真分析確定器件使用應力,最后計算得到MOS器件使用條件下的平均首發故障時間。此方法屬于MOS器件可靠性仿真評價技術領域。
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