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    晶圓團簇失效報警方法和報警系統

    819   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:36
    本發明公開了一種晶圓團簇失效報警方法，包括：按計劃執行CP測試；生成b i n坐標圖；檢測失效d i e相鄰d i e是否失效判斷是否發生晶圓團簇失效，若發生晶圓團簇失效則發出報警，并則根據需求在晶圓團簇失效區域周圍的非失效d i e上形成失效標記，將具有失效標記的非失效d i e定義為失效d i e，否則執行后續計劃測試。本發明能及時主動發現晶圓團簇失效并發出報警，通過失效標記能降低系統性風險，能提高生產效率，避免損失。
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    聲明：
    “晶圓團簇失效報警方法和報警系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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