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    存儲器電路接觸孔層次失效點定位方法

    1087   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:37
    本發明公開了一種存儲器電路接觸孔層次失效點定位方法,是針對無微探針設備的機臺，先使用聚焦離子束進行線路修復，將浮空狀態的電極短接至附近具有穩定電位的節點，再進行電壓襯度分析。本發明所述的方法，使用聚焦離子束將浮空的電極短接至附近穩定電位節點，在電壓襯度進行電子束轟擊時，浮空電極上積累的電荷能被及時導走，使浮空電極極始終保持穩定的狀態，消除其對電壓襯度分析時的干擾。
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