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    集成電路失效率獲取方法

    777   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:38
    本申請涉及一種集成電路失效率獲取方法，包括：確定集成電路的至少一種本征失效機制；根據至少一種本征失效機制，在待測樣品上形成與各本征失效機制相應的測試結構；根據至少一種本征失效機制，確定與各本征失效機制相應的試驗方案，試驗方案包括多組不同的應力條件；根據試驗方案，對多個待測樣品上的相應測試結構進行壽命測試試驗；根據壽命測試試驗，獲取與各本征失效機制相應的失效物理模型；根據與各本征失效機制相應的失效物理模型，獲取集成電路的失效率。本申請能夠有效降低獲取集成電路失效率的成本有效提高獲取的集成電路失效率的準確性。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “集成電路失效率獲取方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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