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    晶圓低可靠性失效管芯的標注方法和裝置

    1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:38
    本發明實施例提供了一種低可靠性失效管芯的標注方法和裝置，該方法包括：根據第一晶圓圖獲取若干第一管芯；第一管芯通過預先進行的第一低可靠性失效標注被認定為低可靠性失效，第一低可靠性失效標注基于晶圓功能測試的結果進行；對若干第一管芯進行可靠性測試，獲得可靠性測試結果；根據可靠性測試結果和所述晶圓功能測試的結果，確定第二低可靠性失效標注依據的第一數值邊界。
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    聲明：
    “晶圓低可靠性失效管芯的標注方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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