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    > 芯片失效中心點的定位方法

    芯片失效中心點的定位方法

    1195   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:38
    本發明涉及一種半導體制造技術領域，尤其涉及一種芯片失效中心點的定位方法，通過將待測的芯片擺正在一平整桌面上，并標記方陣區域中心的附近位置之后將芯片放入近紅外熱點探測機臺中獲取第一芯片圖像與第一印記圖像同時調用測量工具量測對應的相關參數，之后將芯片放入聚焦離子束機臺中同樣獲取第二芯片圖像與第二印記圖像并同時量測對應的相關參數，并根據參數方程計算出芯片失效中心點位置；因此本發明技術方案可以較快的定位到芯片失效中心點的位置并且非?？旖莘奖?，大大節約了機臺、時間和人力成本。
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    “芯片失效中心點的定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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