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    > 功率器件失效點定位方法

    功率器件失效點定位方法

    774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:38
    本發明公開了一種功率器件失效點定位方法，包含：步驟一，利用藥液去除樣品正面的金屬鋁層；步驟二，對除需要測試的芯片以外的區域進行全面的保護；步驟三，使用鍍金機鍍金，使樣品表面形成一層較均勻的金屬層；步驟四，在鍍金區域選一平整的位置，使用FIB機臺形成一個鉑觸點；步驟五，對失效芯片背面加壓，正面墊的觸點接地，進行測試以及失效點的定位。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “功率器件失效點定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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