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    溝槽MOS器件中位錯型漏電分析方法

    1207   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:58
    本發明公開了一種溝槽MOS器件中位錯型漏電分析方法，包括步驟：采用EMMI分析方法獲取缺陷位置，缺陷位置對應于發光點，控制EMMI分析條件使發光點的直徑小于等于1.5微米；采用FIB方法在缺陷位置處制備TEM樣品，TEM樣品的中心和缺陷位置的中心重合且TEM樣品的厚度大于等于缺陷位置處的發光點的直徑；對TEM樣品進行TEM分析。本發明能針對位錯引起的漏電失效，實現更快速準確的定位與分析確認。
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    聲明：
    “溝槽MOS器件中位錯型漏電分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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