本發明公開了一種超級結溝槽底部定點分析方法,包括:在樣品需要分析位置制作定點標記;在樣品側面研磨樣品,直至側面研磨部位剩余樣品距離所述定點標記達到第一預設距離;以第一預設角度傾斜地正面研磨樣品,直至研磨部位剩余樣品寬度達到第一預設研磨寬度;使用聚焦離子束對樣品表面距離溝槽底部小于第二預設距離的標記位置進行表面定點分析。本發明能對超級結溝槽底部失效點實現準確定位。
聲明:
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