• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 失效分析技術

    > 同步采集分析集成電路結構和成分信息的高分辨方法

    同步采集分析集成電路結構和成分信息的高分辨方法

    1023   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:58
    本發明涉及集成電路的電子顯微學表征技術領域,且公開了一種同步采集分析集成電路結構和成分信息的高分辨方法,包括以下步驟:一、利用樣品減薄設備對集成電路進行切割減薄,制備成薄區厚度為50nm的薄片;二、將上述制成的薄片鑲嵌于透射電鏡載網上;三、使用高分辨透射電子顯微鏡的掃描透射電子成像(STEM)功能,對集成電路中的被選擇區域進行觀察。本方案利用樣品減薄設備將集成電路中的被選擇區域制備為適宜透射電子顯微鏡觀察的薄片樣品,將此樣品在高分辨透射電鏡下同步進行高分辨級別的STEM成像與EDS/EELS采集,分析和區分集成電路各功能區域及其之間的界面等區域內的結構和成分分布信息,從而分析集成電路材料與器件構效關系和失效原因。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “同步采集分析集成電路結構和成分信息的高分辨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    失效分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>