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    基于特征函數的片上金屬互連線網電遷移可靠性分析方法

    819   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:58
    本發明公開一種基于特征函數的片上金屬互連線網電遷移可靠性分析方法，該算法通過將芯片中互連線網劃分為同層金屬組成互連樹，提取互連樹上的參數，將互連樹作為電遷移分析的基本單元，并使用Korhonen方程對互連樹上的電遷移進行模型。采用基于特征函數的方法對互連樹上的Korhonen方程進行準確、高效地求解。在求解得到瞬態應力的基礎上，采用二分法求解電遷移失效時間。 1
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    失效分析
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