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    馬達的檢測裝置及檢測馬達性能的方法

    1013   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:59
    現有的半導體工藝中，由于馬達設置在密封腔內，因而針對某些馬達被鎖定誤判為性能失效的情況，通常需打開密封腔以進行檢測，上述打開密封腔需中斷制程，耗時且麻煩。針對上述問題，本發明提出一種馬達的檢測裝置及檢測馬達性能的方法，在現有的馬達驅動電路基礎上，再設置一套與馬達相連的檢測電路，以備馬達在某一位置臨時被鎖定而非馬達自身性能失效后，不打開密封腔，采用額外設置的檢測電路對馬達進行驅動。
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