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    檢測電遷移峰值電流的測試結構和方法

    1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:59
    本發明公開了一種檢測電遷移峰值電流的測試結構，包括左右完全對稱的本身都為上下對稱結構的左右半測試結構；左右半測試結構都包括串聯在一起的n級連接結構，各級連接結構由對應級的金屬線并聯而成；各級金屬線的寬度按比例縮小以及數量按比例增加，各級連接結構中的所有金屬線的寬度和相等；左右半測試結構的第n級連接結構串聯在一起，第1級連接結構作為應力電流或電壓的輸入端。本發明還公開了一種檢測電遷移峰值電流的測試方法。本發明能大大減少所需測試鍵的數量，節約面積成本；能避免由于測試鍵位置不同引起的工藝差異造成對峰值電流性能的影響；能結合失效分析快速找出失效位置，進而能優化后段金屬互聯的工藝窗口。
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