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    多層銅互連布線結構的檢測方法

    973   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:59
    本發明涉及一種多層銅互連布線結構的檢測方法，包括如下步驟：采用開封方法獲取多層銅互連布線結構的裸芯片；清除所述裸芯片表面的殘留物；采用反應離子蝕刻法去除所述裸芯片表面的保護膜；采用熱熔蠟將去除保護膜后的芯片固定于研磨拋光夾具；根據失效分析的結果，對所述芯片的缺陷區域進行平行拋光剝層操作；利用顯微觀察監測平行拋光進度直至達到目標層。本發明的多層銅互連布線結構的檢測方法，可實現芯片中多層銅互連布線結構的逐層去除，實現密集多層銅互連布線結構中各層次形貌的平面觀察，對多層銅互連布線結構芯片的失效機理確認、提高集成電路的使用可靠性有重要的意義。
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