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    異常檢測方法及裝置、電子設備和存儲介質

    872   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:59
    本公開是關于一種異常檢測方法及裝置、電子設備以及計算機可讀存儲介質，涉及半導體生產測試技術領域，可以應用于確定晶圓測試過程中異常產生原因的場景。該方法包括：獲取測試主體的測試數據；確定測試數據對應的至少一測試指標；測試指標包括良率參數、阻值參數以及失效位元區域的一種或多種；確定測試主體在各測試指標下的異常判定結果；根據確定出的異常判定結果確定測試主體出現異常的異常原因類型。本公開通過分析多維度下的晶圓測試結果，快速分析出測試表現異常的原因，并及時預警。
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