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    鎳侵蝕缺陷在線檢測方法

    723   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:01
    本發明涉及一種鎳侵蝕缺陷在線檢測方法，用于在CMOS器件制備工藝中檢測鎳侵蝕缺陷，包括如下步驟：a)、電子束掃描儀以第一配置參數掃描CMOS器件一表面區域，濾除非線條狀缺陷，第一配置參數包括第一電流值；b)、電子束掃描儀以第二配置參數掃描該表面區域，濾除線條狀缺陷，第二配置參數包括第二電流值；c)、以透射電鏡在暗場下掃描該表面區域，確定是否存在鎳侵蝕缺陷；d)、若存在鎳侵蝕缺陷，通過失效分析對鎳侵蝕缺陷進行核實與分類；e)、切換至另一表面區域，回到步驟a）繼續執行。其中，第一電流值小于第二電流值。該方法準確率高、實施簡單，易于在半導體行業內推廣。
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    “鎳侵蝕缺陷在線檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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