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    檢測封裝器件抗水汽影響的方法及系統

    1080   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:06
    本公開涉及一種檢測封裝器件抗水汽影響的方法及系統，方法包括：抽取密封腔體內氣體，制造真空條件；其中，所述密封腔體內設置有待測封裝器件；向所述密封腔體內通入水汽與惰性氣體的混合氣體，實時監測所述密封腔體內氣壓數據，使得所述密封腔體內氣壓穩定在目標氣壓；實時監測所述密封腔體內水汽濃度，并根據所述水汽濃度調節所述混合氣體的流速以及水汽含量，直至所述密封腔體內的氣氛環境達到目標氣氛的特征參數，停止通入所述混合氣體；實時監測所述待測封裝器件的電氣性能數據，獲得所述待測封裝器件的抗水汽影響的評估結果。本公開有助于對單一水汽影響失效機理的加速評價，提高了檢測封裝器件抗水汽影響能力的準確性和可靠性。
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