本發明公開了一種檢測柔性電子器件導電性能的裝置,該裝置包括基座、位移臺、電動機、探針、彎曲機構、顯微鏡、顯示器、源表和控制器,所述的位移臺包括第一位移臺和第二位移臺,分別設于所述基座上的左右兩端,所述彎曲機構的左右兩端分別與兩個位移臺相接,且所述的探針設于每個位移臺上;所述的電動機包括第一電動機和第二電動機,設于所述基座的左右兩側,且分別與所述第一位移臺和第二位移臺相接;所述基座的中部后側設有顯微鏡安裝座,所述的顯微鏡設于所述的顯微鏡安裝座上;所述的探針與所述源表相接,所述源表、顯微鏡、電動機和顯示器均與所述控制器相接。本發明可實時獲取電遷移失效時的判定參數,最終有效實現電遷移失效的預判和控制。
聲明:
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