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    磁控濺射環的尺寸檢驗工裝

    1121   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:10
    本實用新型公開屬于磁控濺射靶材制造技術領域的一種磁控濺射環的尺寸檢驗工裝，該檢驗工裝包括：檢驗圓環體、絕緣陶瓷墊塊、絕緣陶瓷筒、絕緣陶瓷墊片、邊緣固定銷釘和中心固定銷釘。該檢驗工裝內徑與相應濺射環裝機設備的遮擋罩幾何尺寸相同。通過濺射環與檢驗工裝的裝配、濺射環的開口寬度、濺射環與檢驗工裝的絕緣電阻值來進行濺射環的尺寸檢驗。磁控濺射環材質為Ti、Ta、Cu等。由于濺射環為開口的彈性環，常規的三坐標、游標卡尺、或影像測量儀等測量方法難以測量準確，而本實用新型涉及的濺射環的尺寸檢驗工裝，尺寸檢驗結果可靠，從而避免了濺射環產品在客戶端安裝失效等問題。
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