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    加入光學檢查功能的聚焦離子束機臺

    946   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:10
    本實用新型涉及一種加入光學檢查功能的聚焦離子束機臺,其包含有腔體,安裝于所述腔體內頂部的離子源,安裝于所述腔體內側壁的電子偵測器,光學攝像頭以及樣品座;所述離子源發射離子束至放置于樣品座上的樣品表面,所述電子偵測器接收樣品表面受到離子束轟擊而激發出的電子成像,所述光學攝像頭安裝于腔體的內側壁電子偵測器旁,拍攝所述樣品的光學成像;本實用新型可以減少定位加速工程時間,同時可配合光學與電子顯微檢查來達到查找失效點的目的。
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