本發明實施例提供一種機臺插槽的異常偵測方法、修復方法和異常偵測系統。機臺包括多個插槽,插槽用于檢測芯片,異常偵測方法包括:獲取第一失效率,第一失效率為過去的第一時間段內每一插槽檢測的芯片的失效率;根據所有第一失效率,計算異常值;獲取第二失效率,第二失效率為過去的第二時間段內的每一插槽檢測的芯片的失效率;第二時間段小于第一時間段,且第二時間段在第一時間段內;將第二失效率大于或等于異常值的插槽標記為目標插槽,將第二失效率小于異常值的插槽標記為對照插槽;檢驗第二時間段內每一天的目標插槽與對照插槽的失效率的差異的顯著性程度。本發明實施例能夠減小在偵測異常插槽時出現的誤差。
聲明:
“機臺插槽的異常偵測方法、修復方法和異常偵測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)