本發明涉及ESD設備技術領域,更具體地說,它涉及一種ESD設備運行狀況監測裝置及其監測方法,其技術方案要點是:一種ESD設備運行狀況監測裝置,其包括檢測單元;所述檢測單元用于根據ESD設備的電容器充放電過程中的電壓,采用預設的判定規則判定ESD設備的運行是否正常。根據本發明提供的技術方案,由于檢測單元可以根據ESD設備的電容器充放電過程中的電壓,采用預設的判定規則判定ESD設備的運行是否正常,從而作業人員在ESD設備工作時可以隨時了解ESD設備的運行狀況,當ESD設備運行不正常時,可以及時對ESD設備進行維修或更換,可有效防止ESD設備靜電防護失效的情況發生。
聲明:
“ESD設備運行狀況監測裝置及其監測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)