本發明公開了一種復雜工況下MEMS慣性器件可靠性評測方法,包括:確定復雜工況下MEMS慣性器件的失效模式與失效機理;根據MEMS器件的材料、結構、工藝等本構特性以及器件在復雜工況下的失效機制及兩者的關聯性分析,確定MEMS慣性器件在各敏感應力下的可靠性評價模型;根據確定的可靠性評價模型及加速因子,設計確定評價MEMS慣性傳感器在復雜工況下可靠性評估方法;設計形成適應多復雜工況的加速評價試驗方法。本發明從MEMS慣性器件中材料?工藝?結構的失效模式、失效機理出發,構建關鍵結構相關失效物理模型,并引入環境載荷因子,最終建立MEMS慣性器件在復雜工況下的可靠性加速模型,可快速評價器件可靠性。
聲明:
“復雜工況下MEMS慣性器件可靠性評測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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