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    硅片級金屬測試結構電遷移測試中的溫度修正方法

    971   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:13
    本發明涉及一種硅片級金屬測試結構電遷移測試中的溫度修正方法，它是將實際測試結果進行溫度修正，從而得到一個準確的金屬電遷移壽命值。采取固定的加速電流，依靠電流產生的熱來升高金屬測試結構的溫度；通過對多個金屬測試結構溫度的實際測量，取得一組金屬測試結構的溫度測試數據T1～Tn以及相應的失效時間t1～tn；采取數據歸一化的方式，將一組實際測得的金屬測試結構的溫度值T1～Tn以一個共同的溫度值T’作為換算公式的參數，進而得到相應金屬測試結構的失效時間t1’～tn’。真正反映特定電流相對應的電遷移加速過程，從而快速準確地外推金屬電遷移壽命。
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