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    數字坐標軸及柵氧化膜可靠性測試方法

    969   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:13
    本發明公開了一種數字坐標軸，由硅襯底上的柵氧化膜上的多晶硅圖案組成且位于測試結構的周圍，測試結構和數字坐標軸制作在同一層光罩中。數字坐標軸包括水平數字坐標軸和垂直數字坐標軸，水平數字坐標軸和垂直數字坐標軸的長度分別大于測試結構的長度和寬帶、滿足能夠對測試結構的所有點進行定位。本發明還公開了一種柵氧化膜可靠性測試方法，包步驟：形成數字坐標軸、對測試結構進行EMMI測試并用數字坐標軸記錄發光點位置、進行FIB測試。本發明數字坐標軸能夠為測試結構提供精確的坐標，能為柵氧化膜可靠性測試方法中的發光點進行精確定位并提供數字化坐標，能為FIB切割定位提供準確位置，能提高失效分析的成功率。
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