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    閃存器件測試結構及其制造方法

    1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:14
    本發明提供一種閃存器件的測試結構及其制造方法，在第一金屬互連層制造完成后就可以直接進行字線和控制柵極、字線與位線、位線與位線之間的橋接漏電測試，節約了現有技術中等待第二金屬互連層、第三金屬互連層的制作時間，同時第一金屬互連層與有源區線、字線、控制柵極線之間的連接方式簡化了第二金屬互連層、第三金屬互連層的互連結構，因此能夠簡化制程，降低失效分析所花費的時間和工藝成本。
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    聲明：
    “閃存器件測試結構及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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