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    多通道顯微鏡半導體綜合測試系統

    897   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:17
    本發明提出一種多通道顯微鏡半導體綜合測試系統,是將紅外發光顯微技術(EMMI)、激光束誘導電阻率變化測試技術(OBIRCH)、微探針檢測技術、掃描電子顯微鏡技術(SEM)結合在一起形成一種多通道顯微鏡半導體綜合測試系統。利用OBIRCH方法,可以有效地對電路中缺陷定位,如線條中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻區等;也能有效的檢測短路或漏電,是發光顯微技術的有力補充;微探針檢測技術是以微探針快捷方便地獲取IC內部電參數值,如工作點電壓、電流、伏安特性曲線等。本系統可進行多種失效測試技術,減少測試設備,測試步驟少,操作簡單、方便。
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