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    利用四探針法原位實時監測引腳封裝的引腳可靠性的方法

    1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:18
    本發明公開了一種利用四探針法原位實時監測引腳封裝的引腳可靠性的方法。本發明利用四探針法對封裝結構中的引腳的電阻進行監控測量，基于電阻變化檢測出裂紋產生前的粘塑性變形、引腳中裂紋的擴展，實現準確的原位裂紋識別。本發明基于引腳中裂紋產生引起的微電阻變化的特性，通過精確測量引腳電阻變化快速準確地判斷引腳出裂紋產生和失效問題，對引腳可靠性進行原位監測，相比于現有其他測量方法更加簡單高效，能夠在器件的可靠性測試中進行裂紋判定，提前終止實驗，從而節省時間和成本；本發明采用多種探針引腳接觸方案，實現探針與被測點的良好接觸，能進一步提升測試的精確性。
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    “利用四探針法原位實時監測引腳封裝的引腳可靠性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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