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    漏電測試方法

    949   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:20
    本發明涉及一種漏電測試方法，包括：提供一測試樣品，所述待測試樣品包括絕緣層，所述絕緣層內形成有漏電測試結構，所述漏電測試結構包括：第一梳狀金屬線、第二梳狀金屬線，所述第一梳狀金屬線包括多個平行排列的第一梳齒金屬線，所述第二梳狀金屬線包括多個平行排列的第二梳齒金屬線，所述第一梳齒金屬線與所述第二梳齒金屬線相互間隔平行排列；刻蝕所述測試樣品，在所述測試樣品內形成一凹槽，所述凹槽的一側側壁至少暴露出所述多個第一梳齒金屬線的端部；通過觀察所述凹槽的側壁暴露出的所述多個第一梳齒金屬線端部的電壓對比度，定位失效位置。上述方法能夠在不破壞測試樣品表面的情況下定位失效位置。
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    聲明：
    “漏電測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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