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    簡易新穎的薄膜熱學性能測試結構

    799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:23
    本發明涉及材料的熱學性能測試技術領域，特別涉及一種簡易新穎的薄膜熱學性能測試結構，包括設置于襯底上的串聯多個相同懸臂梁，所述懸臂梁由平面圖形相同的待測薄膜和測溫加熱電阻薄膜由下至上完全重疊設置而成。本發明有用信號大從而獲得較理想的信噪比，可有效降低對后續信號處理電路的要求；結構可靠，避免了由于懸臂梁過長導致其與襯底接觸而失效的風險，可以極大減小工藝難度、提高制作成功率；制備工藝簡單，一次成型；結果精確，熱學參數表達式簡單，測試手段相對簡單。
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