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    晶舟位置偵測器防護裝置

    1093   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:23
    本實用新型提供一種晶舟位置偵測器防護裝置，真空腔和貫穿該真空腔底部的光桿，所述光桿連接有位于真空腔內的晶舟承載平臺；位于真空腔外的所述光桿連接有沿一絲桿上下移動的托板；所述絲桿連接于一馬達；位于所述托板上且設有校準點的導桿；位于所述真空腔外與所述真空腔相對固定且用于偵測所述校準點的位置偵測傳感器；位于所述托板下方的開關觸發裝置；該開關觸發裝置內設有常開常閉開關；其中，常開端與馬達構成回路，常閉端與位于該開關觸發裝置內的報警裝置構成回路。該晶舟位置偵測器防護裝置用于解決現有技術中由于位置偵測傳感器失效而使得所述托板上下運動異常造成晶圓撞擊損壞的問題，同時減少人工維護的工作量和節省維護費用。
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    “晶舟位置偵測器防護裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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