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    微機電系統探針、制作其的方法及使用其的測試裝置

    709   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:25
    公開一種用于在待測試對象的受試接觸點與測試電路的測試接觸點之間進行電連接的微機電系統(MEMS)探針。MEMS探針包括：第一端子接觸部分；第二端子接觸部分，能夠靠近和遠離第一端子接觸部分而移動；以及彈性連接部分，連接第一端子接觸部分與第二端子接觸部分，彈性連接部分通過第二端子接觸部分的接近而彈性變形，且包括在彈性變形方向上堆疊的多個鍍覆層。此外，公開一種制作微機電系統探針的方法及測試裝置。根據本發明，MEMS探針包括在彈性變形方向上堆疊的多個鍍覆層，由此使疲勞失效減少且使耐久性提高。
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