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    > 晶圓的虛擬打墨方法

    晶圓的虛擬打墨方法

    909   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:37
    本發明提供了一種晶圓的虛擬打墨方法，首先基于晶圓的不良晶粒的數量和分布方式判斷晶圓是否需要進行針對晶圓測試的虛擬打墨，若是，則分析晶圓的失效來源，當無法分析出晶圓的失效來源時，對每個不良晶粒周圍的至少部分晶粒均進行虛擬打墨，當分析出晶圓的失效來源時，基于晶圓的失效來源對晶圓劃分子區域，并基于不良晶粒的分布方式對至少部分子區域中的所有晶粒整體進行虛擬打墨。本發明不需要人工參與，虛擬打墨的規則統一，避免人工操作的差異和誤操作，提高了虛擬打墨的效率。
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    聲明：
    “晶圓的虛擬打墨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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