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    樣品固定裝置

    1009   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:38
    本發明公開了一種樣品固定裝置，用于和樣品承載臺配合使用，樣品承載臺的中間區域具有第一孔和周側的第一壁體，在第一壁體上形成有多個真空吸孔；樣品固定裝置的主體板具有中間區域的第二孔和周側的第二壁體，第二壁體的最外側邊緣所圍區域的尺寸大于真空作用區域的尺寸；在第二壁體的正面上設置有導電塊；被測試樣品通過熱熔膠固定在第二孔中，被測試樣品的正面上的電極襯墊通過引線和導電塊連接；測試時，各真空吸孔對第二壁體的背面進行真空吸附固定。本發明能實現對尺寸小于真空吸孔的真空作用區域的尺寸的被測試樣品進行真空吸力固定并實現測試；能很好的應用于采用SIL鏡頭的樣品失效定位設備中，實現對裸片級的芯片樣品進行失效分析。
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    聲明：
    “樣品固定裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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