• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 失效分析技術

    > 柵氧化層漏電點的定位方法

    柵氧化層漏電點的定位方法

    1218   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:38
    本發明涉及半導體失效分析技術領域，尤其涉及一種柵氧化層漏電點的定位方法，應用于一包括柵氧化層的半導體結構，所述柵氧化層上方沉積有多晶硅柵、硅化物層和金屬互連層，且所述柵氧化層中包括一個或多個漏電點，所述定位方法包括：步驟S1，對所述半導體結構進行漏電點粗定位，以在所述柵氧化層上方定位出包括所述失效點的熱點區域；步驟S2，去除所述金屬互連層和所述硅化物層，以暴露所述多晶硅柵；步驟S3，對應所述熱點區域在所述多晶硅柵上方形成金屬層區域；步驟S4，采用電壓對比工藝對所述多晶硅柵上方的所述金屬層區域進行測試，正對所述漏電點的所述金屬層區域在所述電壓對比工藝下呈現高于其他區域的亮度，從而定位出所述漏電點。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “柵氧化層漏電點的定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    失效分析
    上一個：基于Weibull分布的MOS晶體管可靠性統計模型的建模方法
    下一個：模塊化多電平換流器的子模塊故障診斷方法

    與 “柵氧化層漏電點的定位方法” 相關技術

    ? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
    ? 高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
    ? 銅合金帶材的清洗方法
    ? 銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
    ? 銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
    ? 防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
    ? 用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
    ? 用于鈦合金薄板的矯平方法
    ? 金屬板材加工用鉆孔裝置
    ? 金屬材料韌性檢測儀

    相關失效分析設備推薦

    HDMI高清視頻顯微鏡
    雙光束掃描紫外可見分光光度計
    熱導率動態測量儀（物理實驗儀器）
    電動取土鉆機 土壤采樣器
    雙環入滲儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
    ?高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
    ?銅合金帶材的清洗方法
    ?銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
    ?銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
    ?防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
    ?用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
    ?用于鈦合金薄板的矯平方法
    ?金屬板材加工用鉆孔裝置
    ?金屬材料韌性檢測儀

    報名參會
    更多+

    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月05日 ~ 07日
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025年08月10日 ~ 12日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:92
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>