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    芯片電性恢復裝置

    934   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:38
    本實用新型提出一種芯片電性恢復裝置，包括加熱臺、UV燈、研磨機以及電漿蝕刻機；芯片放置于所述加熱臺上，所述加熱臺對所述芯片進行加熱，所述UV燈對所述芯片進行照射，所述芯片經所述加熱臺與所述UV燈處理后，移送至所述研磨機，所述研磨機對所述芯片表面進行研磨以去除所述芯片表面的氧化層，研磨后的芯片送至所述電漿蝕刻機，所述電漿蝕刻機對所述芯片表面的電觸點進行蝕刻以去除電觸點表面的鈍化層。本實用新型提供的芯片電性恢復裝置可以將進行失效分析后芯片表面與內部沉積的電子移除，從而恢復芯片的初始電性狀態，該芯片電性恢復裝置的設置合理，操作簡單，且有效地提高了芯片測試分析的精確度。
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    聲明：
    “芯片電性恢復裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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