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    制備透射電鏡樣品的方法

    795   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:38
    本發明提供了一種制備透射電鏡樣品的方法，包括：提供待觀測芯片，所述待觀測芯片包含一待觀測區域；對所述待觀測芯片的正面和/或背面進行減薄，得到初樣；將一空心環固定在所述初樣正面，所述待觀測區域位于所述空心環內；通過干法刻蝕對所述初樣進行減薄，得到透射電鏡樣品。在本發明提供的制備透射電鏡樣品的方法中，將一空心環固定在減薄處理后的初樣上，通過空心環來確定待觀測區域，再通過干法刻蝕所述減薄后的初樣，從而制備成適合透射電鏡觀測的樣品，形成超大面積的觀測區域，滿足相關案例需求，填補失效分析技術空白，提高工作效率。
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    聲明：
    “制備透射電鏡樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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