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    鍺銻碲樣品的處理方法

    879   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:40
    本發明公開了一種鍺銻碲GST樣品的處理方法,所述樣品為在刻蝕氧化硅層形成的溝槽內填充GST的樣品,在處理之后用于掃描電子顯微鏡下測試,所述樣品處理在反應腔內利用物理濺射方法進行,所述反應腔內加速電壓為2.5～4千電子伏;電流為80～120微安;通入反應腔內的氣體為氬氣。采用該方法能夠為失效分析提供準確的工藝參數。
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    聲明：
    “鍺銻碲樣品的處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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