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    > FIB樣品座

    FIB樣品座

    941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:43
    本發明公開了一種FIB樣品座，包括樣品座本體和底座，其中樣品座本體與底座為一體結構，所述樣品座采用防磁導電金屬制成，所述樣品座本體為六面體結構，該六面體的底面與頂面平行，四個側面中至少一個側面垂直于底面且至少一個側面與底面的夾角α為40°～55°。本發明的樣品座可以同時放置平面TEM樣品、截面TEM樣品以及FIB標記樣品，從而可以提高物性失效分析的效率，延長螺紋連接的使用壽命，保持FIB真空值以提高FIB電子束的分辨率；同時與底面形成夾角的側面上可同時放置FIB標記樣品，從而減少進行共聚焦點高度Eucentric?Height的時間。
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    聲明：
    “FIB樣品座” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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