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    評估冗余陣列是否滿足替換要求的方法及裝置

    823   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:46
    本申請公開了一種評估冗余陣列是否滿足替換要求的方法及裝置,可應用于芯片生產設計技術領域,所述方法包括:獲取芯片具體失效單元的地址信息;基于所述地址信息建立晶圓失效地址數據庫;利用所述數據庫進行數學建模,得到對晶圓中各芯片進行修復所需冗余陣列的數量;根據所述對晶圓中各芯片進行修復所需冗余陣列的數量,得到冗余陣列個數和晶圓良率之間的關系。本申請基于生產出的芯片實際出現的失效單元的地址信息,利用數學建模進行對冗余陣列進行評估與分析,能夠得到準確的冗余陣列個數和晶圓良率之間的關系,從而能夠結合對產品良率的需求對冗余陣列個數進行設定,解決了預留多少冗余陣列才能滿足主陣列失效單元替換的需求的問題。
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