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    虛擬圖案填充程式的質量合格保證方法以及版圖結構

    740   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:08
    本發明涉及一種虛擬圖案填充程式的質量合格保證方法以及版圖結構，所述方法包括以下步驟：步驟（a）虛擬圖案設計與電路版圖主設計規則的一致性檢查；步驟（b）虛擬圖案插入之后虛擬圖案檢查規則和圖形密度檢查規則的違反性檢查；步驟（c）虛擬圖案和參考圖層之間的相關性檢查。本發明中提供了一種新的并且是全面的虛擬圖案填充的質量保證流程，以避免現有技術質量監測過程中存在的各種缺陷，本發明所述方法的優點在于可以消除由于虛擬圖案的插入帶來的各種潛在的風險：（1）可以避免虛擬圖案違反設計規則以及由此帶來的工藝過程中的各種問題；（2）所述方法可以避免由于虛擬圖案和參考圖層之間接觸，造成所述器件性能失效，損壞。
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    “虛擬圖案填充程式的質量合格保證方法以及版圖結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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