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    微光顯微鏡偏置裝置

    1083   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:09
    本發明一種微光顯微鏡偏置裝置，包括外部電源、上位機、處理器、雙通道測試工位、多陣列撥碼開關、系統接口和驅動模塊；外部電源對被測器件、測試模塊和驅動模塊供電；上位機發送控制信號給處理器，處理器對控制信號進行處理得到電壓信號，之后通過系統接口發送給驅動模塊，驅動模塊同時對雙通道測試工位及多陣列撥碼開關進行選通及控制，每個通道均通過撥碼開關提供多種偏置電壓及測試模式，用于微光顯微鏡中集成電路缺陷的定位和失效的檢查。本發明能夠對微光顯微鏡中的器件提供特定的偏置條件，運行真值表測試文件和按照測試向量對器件進行功能測試，并且能夠進行單步執行、固定偏置綁定以及測試程序循環等模式的偏置和測試。
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    “微光顯微鏡偏置裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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